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超高真空原位薄膜制备谱学系统

超高真空薄膜乐百家谱学系统,可以在超高真空条件下开展薄膜相关的掠入射乐百家谱学实验。该系统配备有样品中转存放台,样品可以在不暴露大气的情况下,利用真空手提箱或者真空进样腔室传递到样品中转存放台上。在测试室对薄膜样品进行掠入射硬乐百家吸收/衍射/散射信号的loo88。该系统配置一个高精度6自由度并联位移平台,可带动整个腔体相对乐百家光束线的精密位置调整。

六自由度并联平台参数

运 动 维 度 :X、Y、Z、α、β、Ψ

X、Y 行程 :±8mm、±8mm
Z 行程 :±9mm
α、β行程 :±3°
Ψ 行程 :±5°
推进设备分辨率:1μm
X、Y运动精度:5μm
Z运动精度:3μm
X、Y重复运动精度:3μm
Z重复运动精度:2μm
α、β运动精度:0.069mrad
X、Y移动速度:1mm/s
Z移动速度:2mm/s
负载(水平):100Kg
断电保持力:20Kg
质量:10.5Kg
尺寸(直径*高度):390*310mm

特点:

真空度

样品切光曲线