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Design and fabrication of EUV/X-ray focusing systems

我们将根据客户的应用设计,制造和调整结合各种乐百家光学元件的EUV(极紫外光刻)/ 乐百家光学系统。图左为球形聚光镜,图右为Schwarzschild收藏镜。


· 设计和制造各种聚光光学系统/光学系统。

· Schwarzschild会聚光学器件

· KB反射镜

· 球形椭球聚光镜

· 用于高阶谐波的光学系统等。