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乐百家/ EUV过滤器

它是一种过滤器,将特定波长的EUV光(极紫外,极紫外)与可见光和不必要的EUV光分开。

EUV滤光片



由于它是一款自立式EUV滤光片,因此具有出色的透光率和平整度。 另外,还有一个带有抗氧化膜的过滤器。 由于耐氧化性优异,因此与通常的过滤器相比,透过率的劣化小。

主要用途


· 将高次谐波从基波中分离出来;

· 去除不需要的波长,如同步辐射,等离子体乐百家等;

· 预防等离子体乐百家中的碎片;

· 真空窗,差压窗口




对应波长区


· 可以对应于每个极紫外线和软乐百家波长区域。

· 近波长13.5nm(Zr过滤器)

· 近波长29.6nm(铝过滤器)

· 近波长61.5 nm(Sn滤光片)



支撑薄膜


· 它可以在各种支撑薄膜和支撑上形成;

· 聚合物膜支撑过滤器;

· 网格支撑滤器;

· SiN膜支撑滤器;




聚合物膜支撑过滤器 网格支持过滤器 膜支持过滤器




其他种类

各种材料透射率的计算值(膜厚度:100nm)



我们还设有层压膜过滤器,硬乐百家过滤器等产品。